真空計可用于測量真空度或氣壓,是利用不同氣壓下的某種物理效應(yīng)的變化進行氣壓的測量,被廣泛應(yīng)用于科研和工業(yè)生產(chǎn)中,按照測量原理所利用的不同的物理機制,分為三大類,分別是利用力學(xué)性能,利用氣體動力學(xué)和利用帶電粒子效應(yīng)的,其中,利用帶電粒子效應(yīng)典型應(yīng)用有熱陰極電離規(guī)和冷陰極電離規(guī);利用力學(xué)性能的典型的有波爾登規(guī)和薄膜電容規(guī);而利用氣體力學(xué)效應(yīng)的典型真空計有皮拉尼電阻規(guī)和電熱偶規(guī)。
那如何選擇合適的真空計呢?接下來小編為大家做一個介紹。
1、從真空設(shè)備的工作真空度來選擇真空度測控范圍,而不是根據(jù)使用真空泵或機組的極限真空度來選擇,如,系統(tǒng)采用2X旋片泵,其極限真空度可達0.5Pa,但是,由于抽氣效率的原因,往往用在100Pa以上,所以應(yīng)該選擇0.1kPa測量下限即可(下限越低,往往精度要求越高,價格也越高)。
2、從真空測量機理的先進性來考慮,應(yīng)該選擇采用新型傳感元件的真空計,如硅集成真空傳感器、陶瓷基片厚膜電路真空度傳感器、陶瓷電容式薄膜真空規(guī)等等,而傳統(tǒng)老式的熱傳導(dǎo)類(熱偶計、電阻計、皮拉尼計等等),雖然價格稍低些,但其精度低、穩(wěn)定性差、壽命短,雖然現(xiàn)在也有數(shù)字化,但是畢竟是先天不足。
3、合理選擇測量精度等級和測量分辨率,一般設(shè)備選擇1.0級、0.5級就可以了,但是如果是作為精密真空度測量和控制、計量標(biāo)準(zhǔn)器等等,就要選擇0.1級、高分辨率的儀表。陶瓷薄膜規(guī)對于用來測量管道、容器、空調(diào)冰箱部件密封等等用途的真空計選型,可以選擇0.5、0.25級精度、但是分辨率為1Pa的高分辨率的儀表,性價比高。
麥?zhǔn)险婵沼?/a>優(yōu)點主要突出在當(dāng)被檢測的真空系統(tǒng)如果真空度預(yù)抽不到高真空與低真空的交界處時(0.001Pa-----10Pa),由于它自帶穩(wěn)壓的功能,使測量出來的數(shù)據(jù)同樣準(zhǔn)確,而不帶穩(wěn)壓裝置的麥?zhǔn)险婵沼嬕话阍跍y量真空時都必須事先對真空計做一次高真空的排氣處理;它的外型與德國的KAMMER公司相似,但是它更加優(yōu)秀于德國的產(chǎn)品。